開啟電源，啟動設備。

在一般環境下，讓真空泵運行一段時間（例如10分鐘）后打開設備的檢測開關。此時，如果能看到微弱的暗紫色光，且屏幕顯示的數值接近標定數值，那么設備就可以開始進行測量。

如果此時測量未啟動，可以嘗試用手指堵住探頭進氣口（但時間不能超過10秒）。如果還未啟動測量，可以等待一段時間后再次嘗試。

設備啟動后，會自動進行校準。如果在設定的時間段內（例如60秒）未取到零點，可以通過操作取消鍵進行零點的取定。

當儀器的基數值穩定后，將探頭放置到檢測點。如果SF6氣體存在泄露，那么讀數會增大。

在整個過程中，SF6氣體檢漏儀通過其特定的檢測原理（如紅外線吸收原理或負電暈捕獲原理）來識別SF6氣體的泄露情況。當SF6氣體泄漏時，泄漏口處的氣體會被儀器檢測到，并轉化為可觀察的信號（如聲音、光或數值變化），從而幫助用戶定位和識別泄漏點。